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七一八所特种气体材料项目邯郸投产（图）
100%，国际市场覆盖率达到40%。作为国家“02专项”气体项目的牵头单位，七一八所已经成功研制出四氟化硅、六氟乙烷、八氟丙烷、八氟环丁烷、氯化氢、氟化氢等9种高纯气体及10种混合气体并成功进行了产业化，相关产品得到了中芯国际等半导体龙头企业的测试认证。window.F...
https://www.dzwww.com/xinwen/guoneixinwen/201805/t20180518_17388205.htm 2018-05-18

七一八所特种气体材料项目邯郸投产（图）
100%，国际市场覆盖率达到40%。作为国家“02专项”气体项目的牵头单位，七一八所已经成功研制出四氟化硅、六氟乙烷、八氟丙烷、八氟环丁烷、氯化氢、氟化氢等9种高纯气体及10种混合气体并成功进行了产业化，相关产品得到了中芯国际等半导体龙头企业的测试认证。window.F...
https://www.dzwww.com/xinwen/shehuixinwen/201805/t20180518_17388195.htm 2018-05-18


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