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专项等项目支持下,由清华大学李岩、尉昊赟、吴学健、张弘元、张继涛、赵世杰、朱敏昊、黄沛、任利兵、杨宏雷完成的“高测速多轴高分辨力激光干涉测量技术与仪器”项目,针对光刻机工件台超精密定位、基础计量测量和高端仪器应用中对激光干涉仪高动态、高分辨力、跨尺...
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https://www.dzwww.com/xinwen/shehuixinwen/201906/t20190605_18797629.htm
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2019-06-05
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分辨力越高,加工的芯片集成度也就越高。但传统光刻技术由于受到光学衍射效应的影响,分辨力进一步提高受到很大限制。 为获得更高分辨力,传统上采用缩短光波、增加成像系统数值孔径等技术路径来改进光刻机,但技术难度极高,装备成本也极高。 项目副总设计师胡松介绍...
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https://www.dzwww.com/xinwen/guoneixinwen/201811/t20181130_18127993.htm
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2018-11-30
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分辨力越高,加工的芯片集成度也就越高。但传统光刻技术由于受到光学衍射效应的影响,分辨力进一步提高受到很大限制。 为获得更高分辨力,传统上采用缩短光波、增加成像系统数值孔径等技术路径来改进光刻机,但技术难度极高,装备成本也极高。 项目副总设计师胡松介绍...
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https://www.dzwww.com/xinwen/guoneixinwen/201811/t20181129_18124637.htm
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2018-11-29
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更准确地观察太阳活动区,对太阳活动进行准确预警和预报? 近日,扎根成都的中国科学院光电技术研究所研究员饶长辉带领的太阳高分辨力光学成像研究小组,成功突破下一代自适应光学——多层共轭自适应光学(Multi-Conjugate Adaptive Optics, MCAO)关键技术,成功实现...
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http://www.dzwww.com/xinwen/guoneixinwen/201711/t20171101_16599650.htm
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2017-11-01
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更准确地观察太阳活动区,对太阳活动进行准确预警和预报? 近日,扎根成都的中国科学院光电技术研究所研究员饶长辉带领的太阳高分辨力光学成像研究小组,成功突破下一代自适应光学——多层共轭自适应光学(Multi-Conjugate Adaptive Optics, MCAO)关键技术,成功实现...
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http://www.dzwww.com/xinwen/guoneixinwen/201711/t20171101_16599676.htm
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2017-11-01
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上校正“眼镜”。 近日,中国科学院光电技术研究所在中科院云南天文台1米新真空太阳望远镜上结合了该技术,获取太阳活动区大视场高分辨力实时图像。 太阳爆发性活动会给地球及行星际空间环境带来较大影响。观测到更清晰、更精细、更动态化的太阳活动,获取精确的观测数...
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http://www.dzwww.com/xinwen/guoneixinwen/201710/t20171031_16596687.htm
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2017-10-31
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校正“眼镜”。 近日,中国科学院光电技术研究所在中科院云南天文台1米新真空太阳望远镜上结合了该技术,获取太阳活动区大视场高分辨力实时图像。 太阳爆发性活动会给地球及行星际空间环境带来较大影响。观测到更清晰、更精细、更动态化的太阳活动,获取精确的观测数...
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http://www.dzwww.com/xinwen/guoneixinwen/201710/t20171031_16596554.htm
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2017-10-31
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太空“天气预报”更精准 科技日报成都10月30日电 (记者盛利)记者30日从中科院光电技术研究所获悉,由该所饶长辉研究员牵头的太阳高分辨力光学成像研究小组,日前成功突破“多层共轭自适应光学”(MCAO)关键技术,实现对太阳活动区的大视场闭环校正成像观测。这是国内首...
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http://www.dzwww.com/xinwen/guoneixinwen/201710/t20171031_16595631.htm
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2017-10-31
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模式 中新社成都10月31日电 (杨珺 岳依桐)记者10月31日从中国科学院光电技术研究所(以下简称“光电所”)获悉,近日该研究所太阳高分辨力光学成像研究小组首次利用研制的多层共轭自适应光学(Multi Conjugate Adaptive Optics,MCAO)技术与云南天文台1米新真空太阳望远镜...
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http://www.dzwww.com/xinwen/guoneixinwen/201710/t20171031_16595440.htm
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2017-10-31
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东 摄 中新社成都10月31日电 (杨珺 岳依桐)记者10月31日从中国科学院光电技术研究所(以下简称“光电所”)获悉,近日该研究所太阳高分辨力光学成像研究小组首次利用研制的多层共轭自适应光学(Multi Conjugate Adaptive Optics,MCAO)技术与云南天文台1米新真空太阳望远镜...
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http://www.dzwww.com/xinwen/guoneixinwen/201710/t20171031_16595437.htm
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2017-10-31
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